85

Ảnh hưởng của công suất phún xạ đến sự hình thành màng cacbon giống kim cương phủ trên nền AISI 316L bằng phương pháp phún xạ magnetron

Trong nội dung bài báo này, sự ảnh hưởng của công suất phún xạ tới đặc điểm cấu trúc màng DLC sẽ được thảo luận bên cạnh các đặc trưng khác như: ứng suất dư, tốc độ lắng đọng và hình thái bề mặt.

Continue reading Ảnh hưởng của công suất phún xạ đến sự hình thành màng cacbon giống kim cương phủ trên nền AISI 316L bằng phương pháp phún xạ magnetron