Trong nội dung bài báo này, sự ảnh hưởng của công suất phún xạ tới đặc điểm cấu trúc màng DLC sẽ được thảo luận bên cạnh các đặc trưng khác như: ứng suất dư, tốc độ lắng đọng và hình thái bề mặt.
85
JOURNAL OF SCIENCE AND TECHNOLOGY OF METALS
VIETNAM FOUNDRY AND METALLURGY SCIENCE AND TECHNOLOGY ASSOCIATION
Trong nội dung bài báo này, sự ảnh hưởng của công suất phún xạ tới đặc điểm cấu trúc màng DLC sẽ được thảo luận bên cạnh các đặc trưng khác như: ứng suất dư, tốc độ lắng đọng và hình thái bề mặt.